12月26日，上海诺睿科半导体设备有限公司官方微信宣布，公司近日发布全新产品系列：光学关键尺寸量测（Optical Critical Dimension，OCD）设备NKShape，并成功交付国内头部客户。
上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）12月26日，上海诺睿科半导体设备有限公司（简称“诺睿科”）官方微信宣布，公司近日发布全新产品系列：光学关键尺寸量测（Optical Critical Dimension，OCD）设备NKShape，并成功交付国内头部客户。
据介绍，NKShape系列产品专为半导体先进工艺开发，适用于Planar Gate，FinFET，DRAM，3D-NAND等复杂结构的关键尺寸量测。应用场景包括显影后（ADI）、刻蚀后（AEI）、化学机械研磨（CMP）后等工艺站点的二维或三维结构关键尺寸量测，例如不同位置的线宽、槽深、侧壁倾角、特定材料层高等关键工艺参数。
诺睿科首席技术官袁琼雁博士介绍，诺睿科推出的OCD量测设备NKShape系列产品，以整机系统集成调校，最新的算法架构以及先进制程的丰富经验，为半导体量测市场提供了一款高品质的OCD量测设备。NKShape系列产品以28nm/14nm制程工艺技术节点的量测为基础，同时，可覆盖至7nm、5nm及更先进制程的FinFET逻辑产品以及DRAM、3D-NAND存储产品的关键尺寸量测。
诺睿科成立于2022年，专注于前道半导体量测设备的设计研发。公司核心团队由来自于全球知名的半导体量检测设备公司FaST事业部成建制的资深技术专家组成，依托服务于全球多家头部半导体制造公司的深厚经验，致力于开发先进的OCD设备。
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